本社住所
〒501-0463
岐阜県本巣市小柿807-1
TEL：058-323-0680
FAX：058-323-4830
MAIL：中古機器お問合せ
MAIL：その他お問合せ |
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| 栄興業は、金属の素材を供給することによりエレクトロニクス産業の一翼を担っています。 |
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| 【 特 徴 】 |
| ・ |
レーザー走査式非接触検査 |
| ・ |
感度は、鏡面で0.1nm、粗面（切削面など）で0.1μm |
| ・ |
1ライン0.52msec/30mmの高速測定のため、振動に強い（除震台が不要） |
| ・ |
30×30mmの大面積測定 |
| 【 対応可能ワーク 】 |
| ・ |
半導体ウェハー、ハードディスク、LCDフラットパネルなど鏡面、または、金属・高分子材料のスパタ表面 |
| ・ |
コピードラムなど切削面 |
| 測定試料傾斜角度 |
±4.3度 |
| 光源 |
赤色半導体レーザー |
| 波長 |
650nm |
| 出力 |
最大30mW |
| クラス |
クラス3b |
| スポット径 |
φ25μm |
| スキャン幅 |
30mm |
| スキャン速度 |
30mm/0.52msec/line |
| 高さ分解能 |
0.1nm |
| 横分解能 |
25μm |
| サンプリング速度 |
8MHz |
測定時間（30×30mm/
100μmピッチ/平均1回） |
50sec |
| 平均処理回数 |
1〜99回可変 |
測定
モード |
Flatness |
平坦度（表面形状） |
| Microwaviness |
粗さ測定モード |
| Light Field |
微分強調表示モード |
測定
ステージ |
X軸 |
±50mm（0.002mmピッチ） |
| Y軸 |
±50mm（0.002mmピッチ） |
| 回転軸 |
360度（0.01度ピッチ） |
| 表示 |
ラインプロファイル
3D表示 |
| 電源 |
AC100V±15％ / 15A |
| 質量（測定器本体） |
50kg |
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| ハードディスク外縁形状 |
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ハードディスク表面形状（テクスチャ後） |
| ■液晶パネル洗浄装置 |
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■液晶キャリヤーカセットの洗浄装置 |
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| 【 特 徴 】 |
| ・ |
ローラーブラシによる枚葉式液晶パネル洗浄装置 |
| ・ |
枚葉式でサイクルタイム 10秒/枚を実現 |
| ・ |
装置メンテナンスが容易 |
| ・ |
パネルへのストレスがほとんどない |
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| 【 特 徴 】 |
| ・ |
液晶キャリヤーカセットの洗浄、乾燥を、8分/個を実現 |
| ・ |
装置メンテナンスが容易 |
| ・ |
セルフクリーニング機能 |
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| 【 対応可能サイズ 】 |
| CF側： |
L（46.27〜182.75）×W（35.97〜137.1）
t=0.8〜2.2 |
| TFT側： |
L（49.7〜186.6）×W（40.8〜142.5）
t=0.8〜2.2 |
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| 【 対応可能サイズ 】 |
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W333×D294×H420 |
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